净化无尘车间
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净化车间工程的净化原理

2020-07-30 17:03:31

净化工程是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程就能称为净化工程。

净化车间工程的净化原理:气流→初效净化→加湿段→加热段→表冷段→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,就能达到净化目的。

实施调试内容

1、房间各送风口送风量检测、房间总送风量、系统总送风量及房间换气次数的换算:

用风量测试仪对每个送风口进行送风量调整、检测,再把每间室内送风口的送风量相加,得出每间的房间送风量,再把每间房间的风量相加,得出系统总送风量。

把每间房间的送风量除以该房间的体积,得出该房间的换气次数。

经检测,各送风口送风量、房间总风量、系统总送风量及房间换气次数均需达到设计要求。

标准:总风量:0~20%;各风口风量:±15%;新风量:±10%。

2、静压差的检测:

静压差测量应该在整个联系在一起的净化无尘车间系统全开启并且运行稳定后进行测量,门是否关严,测压管周围要尽量密封,尽量从门下软垫处伸管,如开门缝则 会造成压差下降,测量顺序应该从设计高压力房间开始,依次向低压房间进行测量,从洁净级别上说,应该从高的级别洁净室开始逐步向低级别进行测量。

考虑到不同级别洁净室之间压差实际上较小,微压差计的精度有较高要求。不低于2.0Pa。

标准:不同级别及室内洁区与非洁区之间≥5Pa(新版GMP≥10Pa);洁净室与室外应≥10Pa。

3、室内洁净度的检测:

测定洁净度的低限度采样点数按附表1.1的规定定。每点采样次数不少于3次,各点采样次数可以不同。条件:风量、正压调完;室内按要求进行清洁打扫、生物洁净室应按要求消毒,够的预净(空吹)时间。多二人穿洁净服进入,且尽量在下风向。

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